1、刀口直尺测量法 光隙法。该法以刀口直尺作为基准,用光隙法进行测量。检定时将刀口直尺置于被检平板若干截面上,观察光隙大小,并与标准光隙相比较,定出误差值,取其中最大值作为平面度误差值。 标准光隙由平晶、量块、刀口直尺组成,用两块等高量块研合在2级平晶的工作面上,选取比等高块尺寸依次小1um、2um、3um、4um的四块1级量块,按尺寸大小排列,并研合在两等高块之间的平晶上,然后将刀口直尺置于两等高量块上,就构成了1-4um的标准光隙。 该法适用于磨制或研磨加工的小平板平面度检定。 2、垫塞法。在被检铸铁平台截面的两端置两块尺寸相同的量块,刀口直尺放在量块上。在截面被检点塞入的量块或塞尺与两端相同尺寸量块尺寸的差为被检点对两端点连线的偏差,再进行数据处理,求得平面度误差值。 |