实测内容: ********各点实测数据******* E1—A5 对角 0.0 10.0 9.0 23.0 15.0 11.0 12.0 0.0 14.0 E5—A1 对角 0.0 22.0 11.0 14.0 1.0 9.0 10.0 13.0 10.0 E1—E5 下线 0.0 22.0 26.0 19.0 17.0 30.0 11.0 19.0 23.0 E1—A1 左线 0.0 0.0 7.0 12.0 13.0 20.0 9.0 8.0 11.0 A1—A5 上线 0.0 19.0 20.0 33.0 18.0 24.0 18.0 9.0 24.0 E5—A5 右线 0.0 0.0 7.0 21.0 12.0 9.0 10.0 7.0 5.0 C1—C5 中线 0.0 21.0 31.0 19.0 20.0 12.0 23.0 20.0 22.0 E3—A3 中线 0.0 0.0 10.0 11.0 16.0 8.0 9.0 6.0 11.0
********各点实际误差值*******
E1—A5 对角 0.0 -7.9 -20.3 30.4 45.0 41.6 42.8 -10.1 0.0 E5—A1 对角 31.5 79.9 78.8 91.1 45.0 34.9 29.3 37.1 31.5 E1—E5 下线 0.0 8.2 31.3 28.3 17.6 55.8 22.7 19.6 31.6 E1—A1 左线 0.0 -21.1 -24.6 -15.7 -4.3 24.7 26.1 25.1 31.5 A1—A5 上线 31.5 21.5 15.2 57.7 44.0 52.7 38.9 -8.7 0.0 E5—A5 右线 31.5 5.4 -3.3 23.1 27.0 23.4 22.3 13.6 0.0 C1—C5 中线 -4.3 -0.3 41.1 37.5 37.7 7.8 19.3 19.3 26.9 E3—A3 中线 17.6 -1.3 4.8 13.4 34.5 35.6 39.3 35.4 44.0
计算结果:该平板平面度误差为:115.7um
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